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近年、半導体やフラットパネルディスプレイなど、電子デバイス製品の高性能化がますます進んでおり、製造施設であるクリーンルーム内の化学物質がその製造プロセスに影響を及ぼすことが問題となっています。
クリーンルームで問題となっている化学物質の発生源は、クリーンルームを構成する建材や、製造装置、外気、人など、多岐に渡りますが、床材や壁材などの建材からの発生は少なくありません。特にシーリング材等の樹脂材料から発生するシロキサン、フタル酸エステルなどの化学物質が、シリコンウエーハなど製品の歩留まり低下を引き起こすことが問題となっています。中でも、クリーンルームにおいては気密性が要求されるため、シーリング材が通常の建物よりも多く用いられ、その影響は大きいといえます。
一般に、シリコーン系シーリング材は性能・施工性とも優れていますが、シロキサンなどのクリーンルームで問題となる物質が非常に多く発生することがわかっています。すでに、クリーンルーム用の低アウトガス型対策品としてウレタン系シーリング材が開発・市販されていますが、シリコーン系に比べて化学物質の発生は少ないものの、粘度が高いため施工性が悪く、また、硬化した後も長期間にわたって表面がべたつくなどの問題点がありました。
そこで、鹿島とサンスター技研は、それら従来のシリコーン系、ウレタン系対策品の問題点を解決したシーリング材を開発しました。
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